Perbedaan Antara PVD dan CVD

PVD vs CVD

PVD (Deposisi Uap Fisik) dan CVD (Deposisi Uap Kimia) adalah dua teknik yang digunakan untuk membuat lapisan bahan yang sangat tipis menjadi substrat; biasa disebut film tipis. Mereka digunakan sebagian besar dalam produksi semikonduktor di mana lapisan yang sangat tipis dari tipe-n dan tipe-p bahan membuat persimpangan yang diperlukan. Perbedaan utama antara PVD dan CVD adalah proses yang mereka gunakan. Seperti yang mungkin telah Anda simpulkan dari namanya, PVD hanya menggunakan kekuatan fisik untuk menyimpan lapisan sementara CVD menggunakan proses kimia.

Dalam PVD, bahan sumber murni diberi gasifikasi melalui penguapan, penerapan daya tinggi, ablasi laser, dan beberapa teknik lainnya. Bahan gasifikasi kemudian akan berkondensasi pada bahan substrat untuk membuat lapisan yang diinginkan. Tidak ada reaksi kimia yang terjadi di seluruh proses.

Dalam CVD, bahan sumber sebenarnya tidak murni karena dicampur dengan prekursor volatil yang bertindak sebagai pembawa. Campuran disuntikkan ke dalam ruang yang berisi substrat dan kemudian disimpan ke dalamnya. Ketika campuran sudah melekat pada substrat, prekursor akhirnya terurai dan meninggalkan lapisan bahan sumber yang diinginkan dalam substrat. Produk sampingan kemudian dikeluarkan dari ruang melalui aliran gas. Proses dekomposisi dapat dibantu atau dipercepat melalui penggunaan panas, plasma, atau proses lainnya.

Baik itu melalui CVD atau melalui PVD, hasil akhirnya pada dasarnya sama dengan mereka berdua membuat lapisan bahan yang sangat tipis tergantung pada ketebalan yang diinginkan. CVD dan PVD adalah teknik yang sangat luas dengan sejumlah teknik yang lebih spesifik di bawahnya. Proses yang sebenarnya mungkin berbeda tetapi tujuannya sama. Beberapa teknik mungkin lebih baik dalam aplikasi tertentu daripada yang lain karena biaya, kemudahan, dan berbagai alasan lainnya; jadi mereka lebih disukai di daerah itu.

Ringkasan:

1. PVD hanya menggunakan proses fisik sedangkan CVD terutama menggunakan proses kimia
2. PVD biasanya menggunakan bahan sumber murni sementara CVD menggunakan bahan sumber campuran